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肇慶半導體廢水處理方案

工程概況

某公司是生產多晶體硅半導體材料的專業公司。該公司多晶硅生產裝置所產生的酸性廢水、硅棒高純水洗產生的廢水、含硅廢水、浸蝕酸廢液等需要處理才能排放,處理后的廢水可以回用于噴淋塔、冷卻塔清洗等。


設計進水水量水質

  設計處理規模為:360m3/d。

  根據業主提供污水水質,數據如下(單位為mg/l):

表1 廢水水質水量一覽表

類型COD(mg/l)SS(mg/l)備注
半導體廢水≤600ppm≤400


污水處理排放標準

  根據業主要求規劃,廢水經處理后出水的排放標準執行廣東省地方標準《水污染物排放限值》(DB44/26-2001)第二時段一級標準和《城市污水的水質標準與再生水利用》(GB/T19923-05)之較嚴者,具體相關指標如下表2所示(單位為mg/l):

表2 出水指標排放標準(單位mg/l,除pH外)

序號參數排放標準
1PH6—9
2SS≤10
3CODcr≤60
4BOD5≤10
5總銅≤0.5

  廢水處理系統(MCR)出水可以達標或回用作為雜用水,也可經過回用水處理系統進行處理,回用水系統出水水質可優于自來水水質要求,滿足超純水系統進水水質。


工藝設計分析

   廢水經過一級物化處理后,達到表三標準排放的廢水,主要成份含量:Cu≤5ppm、硅粉等微量固形物、懸浮物;需要進行膜處理才能達到回用水質指標。


污水處理工藝流程圖


五、處理工藝流程圖

工藝說明

  ①介質濾器、活性炭濾器和其它制程產生的水進入廢水處理系統調節池,與工業廢水綜合后進行物化沉淀處理。

  ②工業廢水經過“調節池+絮凝反應池+斜管沉淀池+MCR膜化學反應器”處理,去除殘留的微量固形物、懸浮物。經MCR產水泵到收集水箱。水量:18m3/h(360m3/D)。

  ③產水經過UV防止胞外聚合物對后續處理的污染。經炭濾處理去除小分子有機物后,進入RO系統進行一次預脫鹽:

  ④純水制備產生的RO濃水,水質濁度低,含鹽量相對較高。進入濃水收集水箱,與工業廢水RO系統產生的濃水進行混合。進行EDI(膜分鹽系統)處理后,產生的淡液經過 PH調整后,進行膜回收處理后回用。

  ⑤EDI濃水收集后,作為介質濾器的反洗水;中央空調冷卻循環補水,多余水作為雜用水,或溢流到應急水池廢水處理。


預計處理效率

表3 廢水膜處理和濃水回收減量數據表

水質類型水量 (m3/h)給水TDS(mg/L)回收水量(m3/h)濃水量(m3/h)效率 %濃水去向
MCR膜處理17.940017 0.9
污泥濃縮池
廢水反滲透回收系統1740013.63.480濃水收集池
分鹽膜處理系統8.830008.10.792委外或排放
淡液回收處理系統8.120006.91.385委外或排放
EDI濃水1.8



介質反洗水,循環水補水
回收水

20.51.989


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